氦質譜檢漏儀
水冷類
設備概述
氦質譜檢漏儀是一種用來檢測真空系統或密封裝置是否有微小洩漏的高靈敏度設備。它利用 氦氣作為示蹤氣體，再透過 質譜儀分析氦原子是否進入系統，從而判斷是否存在洩漏以及洩漏量大小。
氦質譜檢漏儀是一種用來檢測真空系統或密封裝置是否有微小洩漏的高靈敏度設備。它利用 氦氣作為示蹤氣體，再透過 質譜儀分析氦原子是否進入系統，從而判斷是否存在洩漏以及洩漏量大小。